DNS SS-3000-AR Batch Wafer Cleaner for Sale

-Professionally deinstalled and warehoused
-Can be inspected by appointment
1.Fundamental Data               
    Wafer size    12"        Process    WAFER SCRUBBER
    Model    SS 3000-AR           
    Maker    DNS           

2.Configuration of equipment       
1) SYSTEM COMPOSITION       
    SS 3000-AR    4 Front
    1    Load Port
    2    INDEX UNIT
    3    MAIN BODY

2) GENERAL SPEC               
    WAFER    TYPE    THICKNESS    DIAMETER       
    MAIN PRESSURE ALARM    DI,AIR,VAC,EXH,N2        
    PROCESS FORMULA           
    BRUSH    NO USE       
    ZET NOZZLE    NO USE       
    E-FLOW     UNIT-3,4,5,6 Back & Front Nozzle       
    NANO SPRAY NOZZLE     1 NOZZLE       
    RINSE NOZZLE     2 Front Rinse Nozzle       
    BACK RINSE NOZZLE     2 BaCk Rinse Nozzle       

3)SYSTEM       
    UNIT  MATERRIAL   
    CONTROL FORMULA    UMC
    INDEX-R    IDA
    MOVING STAGE    TR  UNIT2
    SPIN UNIT     UNIT5,6
    SPIN UNIT    FRONT  UNIT3,4
    RETURN UNIT    FRONT  UNIT7,8
    DI RESISTBITY COTROL    AS
    FLOW METER SENSOR    RK

4)UMC       
    MAIN CONTROLLER   
    UNIT CONTROLLER   
    MEMORY SYSTEM   
    SPIN PROGRAM   
5)IDA       
    W/F SENSING    PENETRATION TYPE PHOTOSENSOR
    ARM MOVE Y    SERVO MOTOR
    ARM MOVE X,Z    STEPPING MOTOR
    CASSETTE SIZE    25SLOT
       
       
6)TR       
    W/F SENSING    PENETRATION TYPE PHOTOSENSOR
    ARM Y,Z    AC SERVO MOTOR
    ARM X,θ    STEPPING MOTOR
    ARM MATERIAL    POLYMID

7)SSV (Front)           
    SCRUBBER TYPE    NANO SPRAY NOZZLE
    RINSE TYPE    DI RINSE 1,2, BACK RINSE
    SPIN MOTOR     0~6000rpm(10rpm,CCW), ACCELERATION 30000rpm/s

8.Utility List       
    AIR    MAIN BODY
    N2    MAIN BODY
    VACUUM    MAIN BODY
    DI IN    MAIN BODY
    DI OUT    MAIN BODY
    NEUTRAL EXHAUST    MAIN BODY (SPIN)
    DRAIN    MAIN BODY
    AIR    SUPPLY BOX
    N2    SUPPLY BOX
    DI    SUPPLY BOX
    DI    SUPPLY BOX
    POWER    SUPPLY BOX