Applied Materials Varian VIISta HCP+ High Current Implanter for Sale

-Professionally deinstalled from working condition in the fab.

-Warehoused and can be inspected by appointment

NO#    Check point    Y/N    Type/Model    Condition    Signature    Remarks
1    (EFEM) Buffer station / F.I.                    
1-1    Load Port x4    Y    Brooks            
1-2    Linear Track    Y                
1-3    Robot & Pick    Y    Brooks 5+1    Dual Arm        
1-4    Robot Controller    Y    DBM2706-V2            
1-5    Light Curtin    N                
1-6    Signal Tower    Y    4 Lights            
1-7    Monitor & Keyboard    Y                
1-8    Service PC    N                
                        
2    E/S MODULE      (Process Chamber PSU's & Controllers)                    
2.1    Platen    Y                
2.2    Roplat    Y                
2.3    E-Clamp PSU    Y                
2.4    6A51 IAN Computer    Y                
2.5    6A51 NCS Computer    Y                
2.6    6A26 HV PSU    Y                
2.7    6A37 Turbo PSU    Y                
2.8    Decel 2 PS Control    Y                
2.9    6A50 Transport Module Control    Y                
2.10    6A49 TMC Ampifier Assembly    Y                
2.11    Dual Head OFG Power Supply    Y                
2.12    6A Pneumatic Interface    Y                
2.13    On Board Cryo Control    Y                
2.14    CTI IS Control    Y                
2.15    6A11 Process Module Control    Y                
2.16    6A14 PMC Amplifier Assembly    Y                
2.17    6A13 Dual PFG PS Control    Y                
2.18    6A16 PFG PSU    Y                
2.19    6A  X4  Anolog/Digital I/O Interface    Y                
2.20    6A Chuck PSU    Y    Trek    681B        
2.21    Process Module Controller I/V    Y                
                        
3    Facillities Module                    
3.1    7A4  Facillities Pneumatics Interface    Y                
3.2    7A5  Main PD Interface    Y                
3.3    7A6 Extraction PS Control    Y                
3.4    7A7 DI PS Control    Y                
3.5    7A8  HV PSU    Y    Glasman HV.    Series LH        
3.6    7A9  HV PSU    Y    SERIES    1000        
3.7    Exhaust Conductivity Monitor Contr    Y                
3.8    7A15  Signal Tower Controller    Y                
3.9    UPS    Y    MGE UPS Systems            
    BEAMLINE                    
4    ANALYZER MAGNET 90 Deg MODULE                    
4.1    2A1     Genesys DC PSU    Y    Lambda            
4.2    2A2      ESS PSU    Y    Lambda/EMI            
4.3    2A3  Anolog/Digital I/O Interface    Y                
4.4    2A  2 Axis Motor Control    Y                
4.5    2A5     Anolog/Digital I/O Interface    Y                
4.6    2A  Decel 1 Suppression PSU contro    Y                
4.7    2A     90 Magnet PS Control    Y                
4.8    2A8  Anolog/Digital I/O Interface    Y                
4.9    2A  Beamline Pneumatics Interface    Y                
4.10    2A  Analyzer Corrector Magnet    Y                
4.11    2A  PS Interface    Y                
4.12    2A Vacuum Pump Interface    Y                
4.13    2A     Turbo Controller X2    Y    EDWARDS    SCU-1500    TP1/TP2    
4.14    2A    Source Magnet PSU    Y                
4.15    2A  Source Magnet PS Control    Y                
4.16    2A    Anolog/Digital I/O Interface    Y    Universal AC Input A/D I/O            
4.17    2A     Manipulator Control    Y                
4.18    SRC Suppersion Power Supply    Y    SERIES    1000        
4.19    Setup Cup Controller Monitor    Y                
4.20    Filament Power Supply    Y                
4.21    Quad Magnet Polarity Switch    Y                
4.22    Decel -1 Focus Power Supply    Y                
4.23    Source Suppression P.S. Controller    Y                
                        
5    ANALYZER MAGNET 70 Deg MODULE                    
5.1    Rod Controller Up    Y                
5.2    Rod Controller PSU    Y                
5.3    Decel 2 Suppression PSU Control    Y                
5.4    Decel 2 Suppression PSU    Y                
5.5    Decel 2 Focus PSU    Y                
5.6    70 Magnet PS Control    Y                
5.7    Analyzer Corrector Magnet PSU    Y                
5.8    X6  Anolog/Digital I/O Interface    Y                
5.9    3A Multipole PSU    Y                
5.10    3A  Rod Controller Down    Y                
                        
6    Source                    
6.1    Source Head    Y                
6.2    Source Bushing    Y                
6.3    Source Electrode    Y                
                        
    Gas Cab                    
7    Gas Modules                    
7.1    Pos 1 HP  Argon    CGA 530    Y    MFC: Unit 1600            
7.2    Pos 2 SDS    BF3 1/4 VCR    Y    MFC: Unit 1662            
7.3    Pos 3 SDS  AsH3  1/2 VCR    Y    MFC: Unit UFC-1663            
7.4    Pos 4 SDS    GeF4 1/2 VCR    Y    MFC:GF120XSL            
                        
8    Gas Cab Control                    
8.1    1A22 to 24  Anolog/Digital I/O Inter    Y    Universal AC Input A/D I/O    (3 pcs)        
8.2    1A20  Source Isolation Controller    Y                
8.3    Lambda Progamable Supply    Y    Genesys Power Supply            
8.4    TDK/Lambda Progamable Supply    Y    Genesys Power Supply            
8.5    TDI Filament PSU    Y                
8.6    Lambda EMI ESS PSU    Y                
8.7    Gas Box Power Distribtion    Y                
                        
9    Vacuum System                    
9.1    Loadlock Turbos    N                
9.2    BeamlineTurbos    N                
9.3    Source Turbo    N                
9.4    Roughing Pump All Seal    V                
9.5    Roughing Pump Beamline  & Source    V    EBARA A10S            
9.6    Roughing Pump Loadlock    V    EBARA A10S-B            
9.7    Cryo Pump On Board    N                
9.8    Cryo Pump On Board    N                
9.9    Cryo Pump On Board    N                
9.10    Cryo Compressors  CTI    Y    CTI IS-1000            
9.11    Cryo Compressors  CTI    Y    CTI IS-1000            
                        
10    Others                    
10.1    CVCF Assembly    Y                
10.2    VESDA    Y                
10.3    Chiller    Y                
10.4    Mains Transfomer    Y